Оставьте Свое Сообщение
Наша компания предлагает широкий ассортимент графитовых материалов, применяемых в производстве полупроводников, включая никелированные графитовые компоненты для диффузионных печей, эпитаксиального осаждения и ионной имплантации.
Никелевый графит (Никелевый Графит) представляет собой композиционный материал, в котором высокочистая графитовая матрица модифицируется никелевым покрытием или никелевыми включениями. Такое сочетание обеспечивает уникальный набор физико-химических свойств: высокую теплопроводность, устойчивость к окислению при повышенных температурах, отличную электропроводность и механическую прочность при термических циклах.
В полупроводниковой промышленности требования к материалам исключительно высоки. Производство интегральных схем, МЭМС-устройств, силовых полупроводников и оптоэлектроники предполагает работу в экстремальных условиях: температуры до 1200°C, агрессивные газовые среды, высокий вакуум и жёсткие требования к чистоте. Именно здесь никелевый графит занимает ключевую нишу как функциональный конструкционный материал.
Никелевый графит с содержанием примесей менее 5 ppm обеспечивает минимальное загрязнение кремниевых пластин в диффузионных и эпитаксиальных процессах, что критично для достижения выхода годных чипов более 98%.
Четыре ключевых свойства, определяющих незаменимость никелевого графита в современной микроэлектронике
Сохраняет механическую прочность и размерную точность при многократных термоциклах до 1200°C, критичных для диффузионных процессов.
Содержание металлических примесей менее 5 ppm гарантирует отсутствие контаминации кремниевых пластин и высокий выход годных изделий.
Никелевое покрытие обеспечивает стабильный омический контакт и равномерное распределение тока в системах индуктивного нагрева.
Устойчивость к агрессивным газам (HCl, SiH₄, NH₃) и плазменной обработке, применяемым в CVD и травлении полупроводников.
Hebei Rubang Carbon Products Co., Ltd. была основана в августе 2014 года с уставным капиталом в 25 миллионов юаней. Расположенная в Чэнъане, городе Ханьдань провинции Хэбэй, известном как «углеродная база Северного Китая», компания занимает площадь в 8000 квадратных метров и в настоящее время насчитывает 95 сотрудников.
Расположенная на стыке провинций Шаньси, Хэбэй, Шаньдун и Хэнань, компания имеет стратегическое расположение рядом с железной дорогой Пекин-Гуанчжоу и скоростной автомагистралью Пекин-Гонконг-Макао на западе. Благодаря обильным запасам углеродного сырья в окрестностях, она может похвастаться отличными географическими преимуществами и удобным транспортным сообщением.
С момента своего создания предприятие уделяет приоритетное внимание диверсификации продукции, сохраняя при этом строгие стандарты качества. Постоянно внедряя инновации и развиваясь с учетом требований клиентов, оно превратилось в среднее углеродное предприятие, способное поставлять углеродные материалы и продукты для различных промышленных применений.
С непрерывным развитием технологий наша компания ускорила технологические инновации, укрепила научное управление и придерживалась принципа «клиент прежде всего, репутация превыше всего». В 2017 году мы получили сертификаты системы управления качеством и экологического менеджмента.
Глобальный рынок графитовых материалов для полупроводников демонстрирует устойчивый рост на фоне бума микроэлектроники, электромобилей и силовой электроники
Глобальный рынок карбида кремния (SiC) и нитрида галлия (GaN) — ключевых силовых полупроводников — к 2030 году превысит $10 млрд. Производство SiC-эпитаксии требует графитовых подложкодержателей с никелевым покрытием, устойчивых к температурам 1600°C. Это открывает огромный рынок для никелевого графита.
Стратегия «Made in China 2025» и курс на технологическую независимость стимулируют строительство новых fab-заводов в Китае. По данным SEMI, к 2026 году Китай введёт в строй более 26 новых полупроводниковых заводов, каждый из которых является потребителем высокочистых графитовых компонентов, включая никелевый графит.
Переход автомобильной промышленности на электрическую тягу резко увеличил спрос на силовые инверторы на основе SiC-MOSFET. Производство этих компонентов требует графитовых оснасток с никелевым покрытием для высокотемпературной эпитаксии. Прогнозируется рост потребления никелевого графита в этом сегменте на 35% ежегодно до 2028 года.
Развитие квантовых вычислений и интегрированной фотоники создаёт спрос на новые типы полупроводниковых гетероструктур. Выращивание алмазных плёнок, нитрида алюминия и других широкозонных материалов требует специализированных графитовых компонентов с никелевым покрытием, обеспечивающих химическую инертность и точный контроль температуры.
Ведущие мировые производители полупроводников — TSMC, Samsung, Intel — активно диверсифицируют цепочки поставок критических материалов. Китайские производители высококачественного никелевого графита, такие как Hebei Rubang, получают возможность занять стратегические позиции в глобальных цепочках поставок полупроводниковых материалов.
Переход к техпроцессам ниже 3 нм и развитие 3D-чиплетной упаковки (CoWoS, SoIC) требуют новых решений для термоуправления. Никелевый графит с анизотропной теплопроводностью становится ключевым материалом для тепловых интерфейсов в передовых корпусах микросхем.
Детальный обзор промышленных применений никелевого графита на каждом этапе полупроводникового производства
В диффузионных печах для легирования кремниевых пластин бором, фосфором и мышьяком используются графитовые лодочки, трубки и держатели пластин. Никелевое покрытие обеспечивает защиту от окисления графита в атмосфере кислорода и водяного пара при температурах 900–1100°C. Кроме того, никель улучшает смачиваемость поверхности и снижает контактное сопротивление в системах с индуктивным нагревом.
CVD-процессы для осаждения поликремния, нитрида кремния, оксида кремния и металлических плёнок требуют графитовых нагревательных элементов и подложкодержателей. Никелевый графит в CVD-реакторах обеспечивает равномерное температурное поле (±2°C по диаметру 300-мм пластины), что критично для толщинной равномерности осаждаемых плёнок.
Эпитаксиальные реакторы для роста Si, SiGe и SiC используют графитовые susceptor-ы (подложкодержатели) с никелевым покрытием. Susceptor из никелевого графита обеспечивает: равномерный индуктивный нагрев пластины, химическую инертность к реакционным газам (SiH₄, HCl, C₃H₈), высокую размерную стабильность при температурах 1000–1600°C и длительный срок службы (более 500 циклов).
В системах ионной имплантации никелевый графит применяется для изготовления дисков-держателей пластин (wafer disk), анализирующих щелей и фарадеевских ловушек. Ключевые требования: точность геометрии (±10 мкм), минимальное газовыделение в вакууме (менее 10⁻⁸ Торр·л/с·см²) и устойчивость к бомбардировке ионами с энергией до 5 МэВ.
В камерах плазменного травления и физического осаждения из паровой фазы никелевый графит используется для изготовления фокусирующих колец, экранов и электродов. Комбинация высокой теплопроводности и химической стойкости к фторсодержащей и хлорсодержащей плазме делает этот материал незаменимым в процессах сухого травления кремния, диоксида кремния и металлических слоёв.
Производство карбид-кремниевых MOSFET и диодов Шоттки, применяемых в зарядных станциях электромобилей и промышленных инверторах, требует эпитаксии при 1550–1650°C. Susceptor-ы из никелевого графита с оптимизированным никелевым покрытием обеспечивают стабильность процесса в течение более 1000 часов непрерывной работы, что является ключевым экономическим показателем для fab-заводов.
Наша компания использует передовое отечественное производственное оборудование, обладает обширными техническими знаниями и располагает комплексным испытательным оборудованием и методологиями. Качество нашей продукции превосходно и постоянно демонстрирует устойчивый рост, что позволяет нам удовлетворять разнообразные требования клиентов.
В настоящее время наш основной ассортимент продукции включает: графитовые электроды стандартной мощности (75-1200 мм), графитовые электроды высокой мощности (200-700 мм), графитовые электроды сверхвысокой мощности (300-700 мм), электроды для печных головок, прокаленный нефтяной кокс, углеродные добавки, специализированные графитовые изделия и новые углеродные материалы. Компания обладает годовой производственной мощностью 30 000 тонн. Ее продукция продается более чем в двадцати провинциях и регионах страны, а также экспортируется во многие страны и регионы, включая США и Японию. Продукция, изготовленная в строгом соответствии с национальными стандартами, соответствует производственным требованиям с коэффициентом прохождения 99,2%. Годовой объем производства достигает 20 000 тонн, причем графитовые электроды в настоящее время занимают первое место по объему продаж среди всех производимых продуктов.
Графитовые электроды — это высокотемпературные проводящие материалы, изготовленные из нефтяного кокса и асфальтового кокса в качестве заполнителей с каменноугольной смолой в качестве связующего вещества. Процесс производства включает в себя прокаливание сырья, дробление и измельчение, дозирование, смешивание и замешивание, формование, обжиг, пропитку, графитизацию и механическую обработку. В зависимости от качественных характеристик они подразделяются на графитовые электроды стандартной, высокой и сверхвысокой мощности. Нефтяной кокс служит основным сырьем для производства графитовых электродов. Электроды обычной мощности могут содержать небольшую долю асфальтового кокса, при этом содержание серы как в нефтяном, так и в асфальтовом коксе не должно превышать 0,5%. Для производства электродов высокой или сверхвысокой мощности дополнительно требуется добавление игольчатого кокса. Алюминиевые аноды используют нефтяной кокс в качестве основного сырья, при этом содержание серы строго контролируется в пределах от 1,5% до 2%. Игольчатый кокс поставляется японской компанией Mitsubishi, строгие требования которой к качеству лучше гарантируют качество продукции.
Сырьё → Кальцинация → Измельчение → Просеивание → Смешивание и замешивание → Прессование → Импрегнация → Обжиг → Графитация → Никелирование → Механическая обработка → Готовая продукция
При обработке графитовых электродов в основном используются три метода: метод давления и вибрации, автоматическая формовка с ЧПУ и механическая обработка. Этот процесс характеризуется длительными производственными циклами, относительно высоким энергопотреблением, множеством этапов производства и образованием пыли и вредных газов в процессе изготовления. В связи с этим требуются комплексные меры по защите окружающей среды, включая эффективную вентиляцию для подавления пыли и устранения вредных газов. Кроме того, для производства требуется высококачественное углеродное сырье. Поэтому качество и стабильность как основных, так и вспомогательных материалов играют решающую роль в формировании продукта.
В настоящее время технические характеристики основной продукции компании приведены в таблице ниже (Табл. 1):
| Серийный номер | Название продукта | Диапазон технических характеристик | Годовое производство / тонны |
|---|---|---|---|
| 1 | Никелевый графит для диффузионных печей (стандартная мощность) | ⌀75–1200 мм | 5000 |
| 2 | Никелевый графит для CVD-реакторов (высокая мощность) | ⌀200–1000 мм | 5000 |
| 3 | Никелевый графит для SiC-эпитаксии (сверхвысокая мощность) | ⌀200–1000 мм | 5000 |
| 4 | Специализированные никелевые графитовые изделия для полупроводников | / | 5000 |
Наша продукция изготавливается в строгом соответствии с национальными стандартами и отвечает всем производственным требованиям.
Весь основной технический персонал проходит профессиональную техническую подготовку и сертификацию перед началом работы. Каждый сотрудник, связанный с производством, должен пройти обучение и сдать испытательный срок перед официальным приемом на работу. Помимо приобретения специальных технических знаний и операционных навыков, наш производственный персонал также должен понимать соответствующие стандарты и требования системы управления качеством.
Внедрена система ответственности за качество, в соответствии с которой каждая должность и каждый процесс несут ответственность за качество продукции. Компания располагает комплексным испытательным оборудованием и нанимает десять специальных инспекторов. Строгие проверки проводятся на каждом этапе, от поступления сырья и вспомогательных материалов до хранения и отгрузки продукции.
Для обеспечения качества сырья компания отдает предпочтение поставщикам, имеющим все необходимые квалификации. Производственное и испытательное оборудование закупается у известных производителей, а сырье, оборудование и персонал приобретаются и настраиваются в соответствии с высокими отраслевыми стандартами. Компания стандартизирует и формализует процедуры приема сырья, производственные процессы и протоколы проверок.
Наша компания предлагает широкий ассортимент продукции. Качество продукции соответствует национальным стандартам, а современное производственное и испытательное оборудование гарантирует качество продукции и удовлетворяет производственные требования клиентов в области полупроводникового производства.
Мы предоставляем комплексное техническое сопровождение от разработки спецификаций до послепродажной поддержки. Наши специалисты готовы адаптировать параметры никелевого графита под конкретные технологические процессы полупроводникового производства заказчика.
С непрерывным развитием технологий наша компания ускорила технологические инновации, укрепила научное управление. В 2017 году мы получили сертификаты ISO 9001 и ISO 14001, что позволило стандартизировать, гуманизировать и модернизировать общее управление качеством.
Расположенная на стыке четырёх провинций, рядом с железной дорогой Пекин-Гуанчжоу и скоростной автомагистралью Пекин-Гонконг-Макао, компания обеспечивает быструю и надёжную доставку никелевого графита на полупроводниковые заводы по всему Китаю и за рубеж.
Восемь ключевых продуктовых решений для различных этапов производства полупроводников
В последние годы наши продукты демонстрируют постоянное улучшение качества, заслуживая единодушного признания клиентов и неуклонно повышая репутацию нашей компании в отрасли. Мы по-прежнему твердо привержены качеству и технологическому совершенству как нашей основе, своевременно поставляя продукты и услуги высокого стандарта для достижения взаимовыгодных результатов как для нашего предприятия, так и для наших уважаемых клиентов. Ориентируясь на потребности клиентов в производстве полупроводников, мы постоянно стремимся к прогрессу и совершенству, постепенно укрепляя экономическое и техническое сотрудничество и торговые отношения с партнерами и клиентами как внутри страны, так и за рубежом.
Получить Коммерческое Предложение