Для процессов эпитаксии
Устойчивость к плазме
Для печей Чохральского
Максимальная чистота
В современной индустрии микроэлектроники графитовая шайба для производства полупроводников является критически важным компонентом, обеспечивающим стабильность высокотемпературных процессов. Полупроводниковая промышленность требует материалов с исключительной чистотой (уровень примесей менее 5 ppm), высокой теплопроводностью и химической инертностью. Графит, благодаря своим уникальным свойствам, стал незаменимым в таких процессах, как выращивание монокристаллов кремния, ионная имплантация и плазменное травление.
Графитовые шайбы сохраняют свою структурную целостность при температурах свыше 2500°C, что необходимо для термических узлов в реакторах MOCVD и печах для выращивания слитков.
Использование технологии вакуумного рафинирования позволяет удалять металлические примеси, предотвращая загрязнение кремниевых пластин, что критично для выхода годных изделий.
Hebei Rubang Carbon Products Co., Ltd. была основана в августе 2014 года с уставным капиталом в 25 миллионов юаней. Расположенная в Чэнъане, городе Ханьдань провинции Хэбэй, известном как «углеродная база Северного Китая», компания занимает площадь в 8000 квадратных метров и в настоящее время насчитывает 95 сотрудников.
Расположенная на стыке провинций Шаньси, Хэбэй, Шаньдун и Хэнань, компания имеет стратегическое расположение рядом с железной дорогой Пекин-Гуанчжоу и скоростной автомагистралью Пекин-Гонконг-Макао на западе. С момента своего создания предприятие уделяет приоритетное внимание диверсификации продукции, сохраняя при этом строгие стандарты качества.
С переходом индустрии на 300-мм (12-дюймовые) кремниевые пластины требования к размеру и однородности графитовых компонентов резко возросли. Графитовые шайбы теперь должны обеспечивать идеальное распределение тепла по всей поверхности пластины, чтобы минимизировать дефекты кристаллической решетки.
Силовая электроника на базе карбида кремния (SiC) и нитрида галлия (GaN) требует еще более высоких температур обработки. Наши специализированные графитовые шайбы с покрытием из карбида кремния (SiC coating) предотвращают эрозию графита под воздействием агрессивных газов и плазмы, продлевая срок службы оборудования в 3-5 раз.
Современный рынок движется в сторону «зеленого» производства. Мы внедряем методы очистки графита с замкнутым циклом, что снижает выбросы хлора и фтора, сохраняя при этом сверхвысокую чистоту материала. Автоматизация ЧПУ позволяет нам производить шайбы с допуском до 0.01 мм, что критично для современных литографических систем.
Наша компания использует передовое отечественное производственное оборудование, обладает обширными техническими знаниями и располагает комплексным испытательным оборудованием и методологиями. Качество нашей продукции превосходно и постоянно демонстрирует устойчивый рост.
В настоящее время наш основной ассортимент продукции включает: графитовые электроды стандартной мощности (75-1200 мм), графитовые электроды высокой мощности (200-700 мм), графитовые электроды сверхвысокой мощности (300-700 мм), электроды для печных головок, прокаленный нефтяной кокс, углеродные добавки, специализированные графитовые изделия и новые углеродные материалы.
Графитовые электроды — это высокотемпературные проводящие материалы, изготовленные из нефтяного кокса и асфальтового кокса. Процесс производства включает в себя прокаливание сырья, дробление, дозирование, смешивание, формование, обжиг, пропитку, графитизацию и механическую обработку. Для производства электродов высокой или сверхвысокой мощности дополнительно требуется добавление игольчатого кокса от ведущих мировых поставщиков, таких как Mitsubishi.
Цепочка производства: Сырьё → Кальцинация → Измельчение → Просеивание → Смешивание и замешивание → Прессование → Импрегнация → Обжиг → Графитация → Механическая обработка → Готовая продукция.
| Название продукта | Диапазон технических характеристик | Годовое производство (тонн) |
|---|---|---|
| Графитовые электроды стандартной мощности | ø75–1200 мм | 5000 |
| Графитовые электроды высокой мощности | ø200–1000 мм | 5000 |
| Графитовые электроды сверхвысокой мощности | ø200–1000 мм | 5000 |
| Специализированные графитовые шайбы и изделия | Индивидуально | 5000 |
Весь персонал проходит профессиональную сертификацию перед началом работы.
Строгое соблюдение национальных и международных стандартов качества.
Использование сырья от проверенных глобальных поставщиков.
Современное оборудование для высокоточной механической обработки.
С развитием искусственного интеллекта (AI), сетей 5G и автономного вождения, спрос на чипы растет в геометрической прогрессии. Это ставит перед нами новые задачи. Мы инвестируем в исследования изостатического графита, который обладает изотропными свойствами, обеспечивая еще большую точность при производстве графитовых шайб. Наша цель — стать ведущим мировым поставщиком углеродных решений, способствуя прогрессу в области нанотехнологий.
Мы приглашаем партнеров к сотрудничеству для разработки индивидуальных решений. Hebei Rubang Carbon — это не просто производитель, это ваш технологический партнер в мире высокочистого углерода.
Мы по-прежнему твердо привержены качеству и технологическому совершенству как нашей основе, своевременно поставляя продукты и услуги высокого стандарта для достижения взаимовыгодных результатов.
Hebei Rubang Carbon Products Co., Ltd. | Углеродная база Северного Китая